メリット
高解析光学レンズでライン品質を向上、ドライフィルム上で4/4μmを実現しました
メリット
進化した空気浮遊プラットフォーム技術で
メリット
オートフォーカスインテグレーションで板の厚さムラを克服します
メリット
シングルデスクの標準机種で、AF測定とパーティション位置合わせで生産能力が落ちません
| 最大基板サイズです | 610mm×630mm (24"× 24") |
| 最小基板サイズです | 300mm×300mm (12"× 12") |
| 基板の厚さです | 0.1mm~5.0mm |
| 解析します | 4μm/4μm |
| 解像度です | 200nm |
| 線幅精度です | ±0.4μm |
| 焦点深度です | ±200μm (オートフォーカス) |
| 位置合わせ精度です | ±2μm@610mm×630mm |
| 生産能力です | <42s/pcs @ 610mm×630mm & 100mj/cm²& それぞれの4点位置合わせX防呆です |
| 画像材料です | 光抵抗または高感度乾燥膜です |
| 光源スペクトルです | 405±5nm |
| 露光エネルギーです | 10-1000mj/cm²それ以上です |
| 応用範囲です | ハードボード、ソフトボード、硬軟結合ボードです、シート |
| 資料入力です | Gerber274X, Gerber274D, DXF |
| 単体電源供給です | AC380V-50HZ-15KW（主設備）三相五線です |
| 外形寸法(縦×横×高さ)です | (ドラムラインです) 6500×1000×1500 ,DI(設備です)3500×1745×2050,(入れ口/出し口+ロボットアームです) 1000×1745×2050 |
| 室内温度・湿度 | 22℃±2℃， 40%-60%（結露しません） |
| 基本的な騰落管理です | 固定上げ幅、自動上げ幅、セグメント上げ幅です |
| Stamp機能です | 日付、時間、番号、膨張係数などです |
| 資料入力です | ODB++ |
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