メリット
高級FPCとICリードフレームの量産ソリューションを丁寧に作ります。
メリット
高級FPCとICリードフレームの量産ソリューションを丁寧に作ります。
メリット
上下インタラクティブダブルテーブルダブルワーク
各テーブルに一度に2枚の板を置いて同時に露出を合わせる。
メリット
巻対巻成熟システム、強力な拡張機能デザイン、シームレス露出。
製品の特徴 | 超長幅面/巻対巻 |
最大基板サイズ | 単列巻度520mm |
最小基板サイズ | 巻幅250mm |
基板の厚さ | 0.035mm~0.15mm |
工芸解析L/S | 25µm/25µm |
線幅精度 | ±10% |
被写界深度 | ±200µm |
層間対位精度 | 20µm |
外層対位精度 | ±10µm |
露出時間(50mj/cm²&各4点対位、上下板を含まない) | 14秒/面@250mm×1200mm |
生産効率(50mj/cm²各4点対位) | 5メートル/分&260mmロール幅、2.5メートル/分&520mmロール幅 |
光源パワー | 24W |
単機台面の数 | 単台面 |
内層線路モジュール | |
単機の外形サイズ | n/a |
自動線の外形サイズ | 6100mm×2100mm×2200m |
作業高さ(輸送高さ) | 890±20mm |