メリット
高解析光学レンズは線路の品質を高める
乾膜で高解析6/6μmを実現
メリット
精密レールプラットフォームは±5um照準精度
進級気浮プラットフォーム技術を実現し、精度は±3.5μmに向上しました。
メリット
自動光学焦点統合技術
板面の厚さの不均衡を克服する。
メリット
自主ミラー双台面交互照準露出技術
AF測定とパーティション照準開生産能力は速度が落ちない。
| 製品の特徴 | 単台面標準機種 |
| 最大基板サイズ | 630mm×730mm |
| 最小基板サイズ | 300mm×300mm |
| 基板の厚さ | 0.05mm~3mm |
| 工芸解析L/S | 8µm/8µm |
| 線幅精度 | ±10% |
| 景深 | ±75µm |
| 層間対位精度 | 10µm |
| 外層の位置合わせ精度 | ±5µm |
| 露出時間(90mj/cm²各4点対位、上下板を含まない) | 18秒/面@623mm×410mm |
| 生産効率(90mj/cm²1枚4点対位) | 3面/分@623mm×410mm |
| 光源パワー | 6W |
| 単機台面の数 | 単台面 |
| 内層線路モジュール | 内外層共通 |
| 単機設備の重さ | 5500kg |
| 単機外形サイズ | 2940mm×1700mm×2195mm |
| 自動線外形サイズ | 6380mm×3082mm×2455mm(収納板機を含まない) |
| 作業高さ(輸送高さ) | 890±20mm |
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