メリット
製品反復更新
搭載総量は700台を超える。
メリット
100%自産サブシステムモジュール
大規模市場検証
成熟して信頼できる
メリット
上下の両台面相互作用、生産速度が高く、汎用性が強い
はMLB製品DI線路露出機の理想的な選択です。
メリット
製品反復更新
搭載総量は700台を超える。
メリット
100%自産サブシステムモジュール
大規模市場検証
成熟して信頼できる
メリット
上下の両台面相互作用、生産速度が高く、汎用性が強い
はMLB製品DI線路露出機の理想的な選択です。
| 製品の特徴 | 双台高効率 |
| 最大基板サイズ | 630mm×730mm(有効露出サイズ623mm×730mm) |
| 最小基板サイズ | 250mm×250mm(単機)、300mm×300mm(自動線) |
| 基板の厚さ | 0.05mm~5mm(単機)、0.1mm~3.5mm(自動線) |
| 工芸解析L/S | 35µm/35µm |
| 線幅精度 | ±10% |
| 景深 | ±300µm |
| 層間対位精度 | 20µm |
| 外層対位精度 | ±10µm |
| 露出時間(623mm×680mm&四点対位、上下板を含まない) | 8秒/面@50mj/cm² |
| 生産効率(623mm×680mm&四点対位) | 7.5面/分@50mj/cm² |
| 光源パワー | 48W |
| 単機台面の数 | 上下交互双台面 |
| 内層線路モジュール | 内外層共通 |
| 単機設備の重量 | 5000kg |
| 単機の外形サイズ | 3150mm×1700mm×1950mm |
| 自動線外形サイズ | 6380mm×3460mm×2455mm(収納板機を含まない) |
| 作業高さ(輸送高さ) | 1030±20mm |
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