メリット
MLB大拼版線路の先駆者
成熟した大板DI経験助
力大板板材利用率向上
コスト削減と効率の向上
メリット
横縦2つのレイアウトが選択可能
柔軟に生産工場
大小板互換自動化
メリット
大拼板解析は25µm
に上昇し、高密製品の需要を満たす。
メリット
MLB大拼版線路の先駆者
成熟した大板DI経験助
力大板板材利用率向上
コスト削減と効率の向上
メリット
横縦2つのレイアウトが選択可能
柔軟に生産工場
大小板互換自動化
メリット
大拼板解析は25µm
に上昇し、高密製品の需要を満たす。
| 製品の特徴 | 大板高解析 |
| 最大基板サイズ | 1260mm x 730mm(有効露出サイズ1245mm x 724mm) |
| 最小基板サイズ | 400mm x 400mm(単機)、500mm x 710mm(自動線) |
| 基板の厚さ | 0.1mm~5mm(単機)、0.2mm~4.0mm(自動線) |
| 工芸解析(L/S) | 25μm/25μm |
| 線幅精度 | ±10% |
| 景深 | ±300μm |
| 層間対位精度 | 30μm |
| 外層対位精度 | ±15μm |
| 露出時間(50mj&四点対位、上下板を含まない) | 8.3秒/面@1245mm x 723mm (49"x28.5") |
| 生産効率(50mj&四点対位) | 6枚/分@ 1245mm x 723mm (49"x28.5") |
| 光源パワー | 24W(オプション48W) |
| 単機台面の数 | 単台面 |
| 内層線路モジュール | 内外層共通 |
| 単機設備の重さ | 5500kg |
| 単機の外形サイズ | 3658mm x 1700mm x 2050mm |
| 自動線外形サイズ | 6600mm x 3800mm x 2050mm(収納、放板機を含まない) |
| 作業高さ(輸送高さ) | 950±20mm |
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