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DPH-12
HDI

最大基板:630×730mm

解析L/S:12/12μm

照準:±8µm

生産能力:4.5面/分@30mj
DPH-25D
HDI

最大基板:630×730mm

解析L/S:25/25μm

照準:±10µm

生産能力:7面/分@30mj
DPS-35V
MLB

最大基板:1260×730mm

解析L/S:35/35μm

照準:±15µm

生産能力:6.5面/分@50mj
DPH-35D
MLB

最大基板:630×730mm

解析L/S:35/35μm

照準:±10µm

生産能力:7.5面/分@50mj
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