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DLP光機(光エンジン) UV-LD/LED光源 高精密光学レンズ 高精光学システムカスタマイズ
MPS-01

倍率：×1

露光エリア：70mm×70mm

解像力 L/S：1.4μm/1.4μm

光源：LED 365nm
MPS-02

解像度：2μm L/S

オ-バ-レイ：0.5μm

スル-プット：150WPH

マスク：9 inch