タイプ

プリント基板

線路製品溶接防止製品レーザー穴あけ機

パン半導体

直写リソグラフィ投影リソグラフィ AOI検出

スクリーン印刷

CTSネット版シリーズ

太陽光発電セル

光電池

コア・コンポーネント

DLP光機(光エンジン) UV-LD/LED光源高精密光学レンズ高精光学システムカスタマイズ

最大基板サイズです：610mm×630mm (24"× 24")

解析します：4μm/4μm

位置合わせ精度です：±2μm

生産能力です：<42s/pcs @ 610mmx630mm &
100mj/cm²& それぞれの4点位置合わせX防呆です

ウエハーサイズです：100/150/200/300mmWafer（オプションです）

解析します：2μm L/S

焦点深度です：20μm

表側刻印精度です：0.5μm

生産能力です:40WPH@12inch